ASML光刻机首次成功将光线图案投射到晶圆上
2024-12-032月29日,据SPIE光刻会议上的消息,英特尔技术开发负责人Ann Kelleher宣布,他们在ASML的新型高数值孔径(High NA)EUV光刻机上实现了“初次曝光”的重要里程碑。ASML也对此进行了证实,并透露接下来将对该系统进行深入的测试和调整,以充分发挥其性能潜力。 什么是“初次曝光”? “初次曝光”指的是光刻系统首次成功将光线图案精确投射到晶圆上。这不仅是技术验证的关键一步,也标志着该光刻系统已经完成了其基本功能,为进一步的测试和优化打下了坚实基础。 此次进展的意义何在? 高数值孔
1.2亿美元!中芯国际下单ASML EUV光刻机
2024-09-25近日消息,中国最大的晶圆代工厂中芯国际已经向荷兰半导体设备制造商ASML订购了一台EUV设备。EUV是当前半导体产业中最先进也最昂贵的芯片制造设备,这台设备价值1.2亿美元,差不多花费了中芯一季度营收的14%。这台机器预计将于2019年初交货。 EUV对于未来芯片技术的发展至关重要,并一直被视为摩尔定律的救星。1965年提出的摩尔定律,随着工艺演进,晶体管尺寸缩微越来越困难,在近年来越来越多人担心它将走到尽头。该光刻设备采用波长为13.5nm的极紫外光源,相比于现在主流光刻机用的193nm光源
ASML今年EUV设备出货量年增率上看66%
2024-07-31半导体设备大厂ASML历经半导体产业低谷后,近期受台积电5、7纳米制程的EUV设备与存储器相关设备需求上升影响,其中EUV设备年增率更上看66%,市场预估ASML第3季营收将会反弹为正生长,且半导体受AI与5G趋向带动下,相关设备商将可望受惠。 产业方面,市场多以为,半导体产业受AI、5G相关企业需求所带动,估计将于2020年摆脱低谷。其中逻辑IC与代工方面,由于AI与5G相对需求更高速的运算与处置,将带动5、7纳米制程研发与开展。 而5、7纳米制程领头羊台积电受惠于先进制程产品而需求上升,制